高分解能スキャナー

30 µmスキャナー

  • 小型ダイレクトドライブの高分解能スキャナー
    (走査幅 30 x 30 x 10 µm)
  • 高剛性,高精密で応答性の良いスキャナー
  • AFMのZ方向の分解能が向上

WITec DirectDrive ScanStage

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