Semiconductores y Fotovoltaicos

Los sustratos estructurados se emplean extensamente en semiconductores como en investigación y desarrollo de la energía solar fotovoltaica. Las altas exigencias en cuanto a la calidad y fiabilidad de los dispositivo hacen que sea cada vez más importante tener un conocimiento detallado de las tensiones inherentes y las propiedades cristalinas de dichas estructuras. Las técnicas de imagen de WITec brindan la oportunidad de analizar las muestras de forma exhaustiva con respecto a sus características químicas y físicas.
Los instrumentos altamente versátiles de WITec pueden combinar varias técnicas de imagenes para incrementar significativamente los conocimientos proporcionados por los resultados de la medición. Las combinaciones posibles que pueden ser incluidas en una configuración son: microscopio Raman confocal de imágenes, microscopia de fuerza atómica (AFM), microscopía de campo cercano (SNOM) y microscopia electrónica de barrido (SEM). Las imagenes Raman-Confocal ofrecen información química, AFM registra la topografía, la estructura y las propiedades físicas de la superficie, como rigidez y adherencia, SNOM permite medidas de alta resolución superando el límite de difracción. Todas las configuraciones de instrumento de WITec pueden Extenderse en cualquier momento para adaptar el sistema a nuevos requerimientos o actualizarlo a nuevas tecnologías y desarrollos.

Ejemplos de aplicación

Microscopía RISE (Raman-SEM) de una muestra de GaAs crecida a baja temperatura (LT-GaAs). La imagen Raman es sobrepuesta sobre la imagen SEM.Imagen Raman: Amarillo: Substrato de Oro; Rojo: GaAs. 50 x 50 µm², 300 x 300 pixeles = 90,000 spectros, tiempo de integración, 34 ms por espectro.
Imagen de distribución de stress alrededor de una perforacion láser en una celda solas de Silicio.
Imagen Raman-SEM de estructuras en una capa de GaN. Top: Imagen SEM; Centro: Imagen Raman-Confocal en dirección x-y; Abajo: Imagen Raman-Confocal 3D.

Imagen AFM de un circuito integrado
Imagenes Raman y AFM de la misma muestra en tres posiciones diferentes de un wafer.